質(zhì)量流量計(jì)，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表，

其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。

質(zhì)量流量控制器，即Mass flow controller(縮寫為MFC），不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，

更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，

即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。

簡單地說，質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)定裝置，是一個(gè)可以手動設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。