1. 電阻蒸發(fā)源蒸鍍發(fā)  

A. 加熱：高熔點金屬做成適當(dāng)形狀蒸發(fā)源，電流通過直接加熱。 

B. 優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單、造價便宜、使用可靠

C. 缺點：所能到到的最高溫度有限，加熱器壽命較短

D. 適合：熔點不太高，尤其對膜層質(zhì)量要求不大高的大批量生產(chǎn)。 

 2. 電子束蒸發(fā)源蒸鍍發(fā) 

A. 蒸發(fā)材料放入冷水鉗鍋中，利用電子束加熱

B. 優(yōu)點：獲得更大能量密度，使高熔點材料蒸發(fā)且速度快，膜的純度較高，熱效率高。

C. 分類：環(huán)形槍，直槍，e型槍和空心陰極槍等幾種。

D. 適合：高熔點，純度要求高的材料。