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擴散泵無法取代的獨特優(yōu)勢

作者：　來源：　日期：2020/6/24 11:21:00　人氣：3153
擴散泵是一種蒸氣射流泵, 泵油被加熱后產(chǎn)生油蒸汽，油蒸汽從傘形噴嘴高速噴出，射流上方的氣體擴散到射流內(nèi)并被高速的大分子油蒸汽攜帶到泵壁。由于泵壁溫度較低，油蒸汽接觸到泵壁后會迅速液化，被攜帶的永久氣體繼續(xù)向下一級射流擴散并被攜帶至更下一級，直至最后被前級真空泵抽走。
一般的擴散泵有3到5級傘形噴嘴，有的擴散泵還會增加一級側向的噴射噴嘴，噴射噴嘴可以提高擴散泵在較高壓力下工作的能力（抽速和前級耐壓）。
擴散泵功耗很大，并且使用時需要大量的冷卻水，卻還被如此廣泛的使用，主要原因有下面幾點：

具有最優(yōu)的抽速/價格比；

抽速大、可以處理巨大的氣體流量；

沒有活動部件，高可靠、維護少，壽命長。


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